電子裝備產業

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依托半導體高端設備研制,通過半導體高端設備、真空技術兩個板塊,建立電子裝備的產業化經營格局
  •  ALD原子層沉積設備

ALD原子層沉積設備

ALD原子層沉積設備主要應用于集成電路、微電子、量子點、新能源等產業。

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