電子裝備產業

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依托半導體高端設備研制,通過半導體高端設備、真空技術兩個板塊,建立電子裝備的產業化經營格局
  •  立式甩干機

立式甩干機

主要應用于2-8英寸半導體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝。

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30分鐘內給予技術咨詢答復

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產品特點:

GASS立式甩干機是高潔凈度沖洗甩干設備, 具有高潔凈沖洗,高速甩干,快速烘干,效率高的特點,不同晶圓尺寸,可通過快速更換轉子來實現。是濕法清洗工藝的主要設備,設備本身有單腔室和雙腔室2種結構,體型小運行平穩。


應用范圍:

其主要用于2-8英寸半導體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝。

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