電子裝備產業

您當前所在位置:首頁 - 電子裝備產業 - SIC單晶爐

電子裝備產業

Products display

依托半導體高端設備研制,通過半導體高端設備、真空技術兩個板塊,建立電子裝備的產業化經營格局
  •  SIC單晶爐

SIC單晶爐

主要應用于碳化硅、氮化鋁單晶生長,6、8英寸SIC晶體生長

60秒人工響應

30分鐘內給予技術咨詢答復

24小時免費提供方案設計

 

SIC單晶爐是針對碳化硅單晶生長專用工藝設備,也可用于氮化鋁的單晶生長工藝。


SIC單晶爐設備特點

■  設備采用高頻電源感應加熱、水冷感應線圈,水冷箱及高溫密封,并具備對生長室內的高真空度進行檢測、溫度的精確測量、加熱過程的程序化控制,石墨坩堝與感應加熱線圈之間相對位置的調節以及Ar等多種氣體的定量定壓供給等功能,使設備在冷卻、隔熱和抗電磁輻射等方面有著非常好的效果;

■  設備為晶體生長提供一個理想的工藝環境條件,保證SiC晶體的穩定生長;

■  設備可以有效的避免加熱裝置對晶體的污染,同時也相對增加了工作空間。


技術參數

加熱溫度

最高溫度2500°C

高周波電源50kw,7-15KHz
溫度測量利用上下紅外放射溫度計測溫
控制方式線圈電流控制(ACC)、放射溫度計控制(ATC) 
溫度控制精度手動方式
氣氛士0.1%FS(ACC)、2500 °C士5 °C (ATC)
極限圧力真空、Ar 、N2 
圧力控制范圍

1.33x 10-3Pa (常溫空妒時)

(133~101) x105 Pa士0.1%FS,

低圧側 1.0~100.0士0.1 Torr,

高圧側100~760士5 Torr


91精品久久人人妻人人爽人人_精品国免费一区二区三区_精品欧美_99久久国产一区区≡区